真空エンジニアリング
Vacuum Engineering

真空ろう付受託加工

真空機器部品

薄膜のろう付

  • 材質
    ・薄 膜:ベリリウム(Be)、チタン(Ti)等
    ・ボディ:ステンレス鋼(SUS304、SUS316L等)、コバール合金等
  • 特徴
    ・従来の有機シール材(Oリング、接着材)を一切使用しないので、耐熱性が高く極低温に対する特性も良好です。
    (使用温度:-270℃~450℃、最高使用温度:約600℃)
    ・耐熱性が高いので装置の高温ベーキングが可能です。
    ・ろう付と同時に脱ガス処理を行っているので、高真空用途でアウトガスがありません。また真空フランジに簡単に取り付けできます。
薄膜のろう付
薄膜のろう付
薄膜のろう付
薄膜のろう付バルブ全体

  • Be窓有効寸法
    (センター部)高さ15mm×幅100mm×厚さ0.4mm
    (上部)高さ18mm×幅50mm×厚さ0.4mm
  • 両端フランジ:ICF203
  • 開口径:Φ140mm
  • フランジ面間距離:360mm
  • シート部材質:SUS304(Oリング、カルレッツ)
  • シール性能
    〈ボディ〉1.3×10-11Pa・m3/s以下(Heリーク検査)
    〈シート〉1.3×10-10Pa・m3/s以下(Heリーク検査)
  • 納入実績:(財)高輝度光科学研究センター 加速器部門 殿

セラミックと金属のろう付

  • 材質
    〈セラミックス〉アルミナ(Al203)、窒化アルミ(AlN)、窒化珪素(Si3N4)炭化珪素(SiC)、窒化ホウ素(C-BN)等
    〈金属〉コバール合金、42Fe-Ni合金、無酸素銅(OFC)、純Ni等
セラミック真空部品

セラミック真空部品:Al203-Kovar

〈外型〉Φ40×80L(ナイス:1008-Tろう材使用)
〈Heリーク量〉1.0×10-9(Pa・m3/sec)以下
〈弊社強度試験データ〉せん断引張試験 約9.0kgf/mm2(セラミックス側で破断)

その他、ダイヤモンドと超硬、ダイヤモンドとステンレス鋼のろう付も可能です。

半導体製造装置部品

アルミのろう付

  • 材質:アルミ(A1100、A6061等)
エッチャー用アルミ/アルミジャケット エッチャー用アルミ/アルミジャケット

エッチャー用アルミ/アルミジャケット、A6061/A6061 カットモデルφ450㎜タイプ

〈外様〉Φ550(5枚をろう付)
〈Heリーク量〉1.0×10-9(Pa・m3/sec)以下
〈弊社強度試験データ〉せん断引張試験 A1100/A1100:約3.5kgf/mm2、A6061/A6061:約9.0kgf/mm2

ろう付はもちろん、製品完成(加工からろう付)までを一貫して行っております。

熱交換機器部品

アルミニウムとステンレス異材配管継ぎ手

  • 材質:アルミ(A1100、A6061等)、ステンレス鋼(SUS304、SUS316L等)
A1100、A6061-SUS316L配管継ぎ手

A1100、A6061-SUS316L配管継ぎ手

〈外様〉Φ45mm×80L(内径:Φ35mm)
〈Heリーク量〉1.0×10-10(Pa・m3/sec)以下
〈弊社強度試験データ〉JIS Z3194-4号試験片 A1100/SUS304:約9.7kgf/mm2(Al母材破断)、A6061/SUS304:約9.2kgf/mm2(Al母材破断)

Al-SUSテストピース(接合部30mmL×25mmW×1.0mmT)試験片をクロスヘッドスピード0.5mm/minの速度で室温にて引張試験を行いました。

Al-SUSテストピース Al-SUSテストピース

耐圧(静水圧)試験

〈負荷圧力:80Kgf/cm2
・7日間の加圧後も形状やHeリーク量に変化はありません
〈破壊圧力:240kgf/cm2(A1100/SUS316L継ぎ手)〉
・ろう付部で破壊する前にアルミ母材が変形します
・Al-SUS配管継ぎ手をAl-金属配管のジョイントパーツとして使用可能です(別途、溶接が必要です)

  • 低温・熱サイクル試験

室温から-196℃(77K)までを20回繰り返した後も形状やHeリーク量に変化はありません。
(Al-SUS配管継ぎ手に液体窒素をSUS容器内で約2分間掛け冷却した後、室温になるまで放置しました。この作業を20回繰り返した後、Heリーク試験を行いました)

  • 高温・熱サイクル試験

室温から100℃までを10回繰り返した後も形状やHeリーク量に変化はありません。
(電気炉内を所定の温度に保ち、Al-SUS配管継ぎ手を投入し、1時間保持後、室温になるまで放置し、Heリーク試験を行いました。この作業を10回繰り返しました。ワーク温度は接触式の表面温度計で測定を行いました)

その他

真空コンポーネントパーツ

Ti-Cu1020パルス管

Ti-Cu1020パルス管

膨張係数の大きく異なる銅とチタンをろう付しています。
〈Heリーク量〉1X10-10(Pa・m3/sec)以下

ルツボのカットモデル

ルツボのカットモデルです。
〈Heリーク量〉1X10-10(Pa・m3/sec)以下

レーザー溶接

  • レーザー溶接の特徴
    ・肉厚が薄いものから厚いものまで溶接することが可能です。
    ・歪みが少ないため仕上がり部品を溶接することが可能です。
  • 材質
    ・アルミ合金(A5052、A6061)
    ・純アルミニウム(A1050)
    ・ステンレス鋼(SUS304、SUS316L)
    ・銅合金・無酸素銅(C1020)
    ・熱間金型鋼(SKD各種)
レーザー溶接

アルミ合金(A6061)の真空チャンバー製作

アルミ合金(A6061)の真空チャンバー製作

非常に小さなビートで漏れのないチャンバーが製作できます。

〈Heリーク量〉1.3×10-10Pa・m3/sec以下
薄板(0.3t)の溶接が可能です。
内径φ70×0.5t 外形φ144×4t φ5.8×1t

金型の補修

アルミ合金(A6061)の真空チャンバー製作

金型等の微細肉盛り補修が可能です。〈SKD用補修材使用〉
溶接入熱が少ないため割れ、歪み等の問題がほとんどありません。


  • 継ぎ手強度(弊社強度試験データ)

(JIS Z3121 突き合わせ溶接継ぎ手 3A号試験片使用、溶接部の開先:X、板厚2t)

母材:A 母材:B 引張り強さ(kg/mm2) 母材(kg/mm2)
A5020 A5052 14.9 20(O材)
C1020 C1020 11.6 22
SUS304 SUS304 53.8 60

レーザー溶接装置

レーザー溶接装置
レーザー溶接装置

超音波検査装置

ろう面の状態を確認します。
超音波検査装置
超音波検査装置

電子ビーム溶接

◎異材、活性金属の溶接や深溶けこみ低歪溶接

電子ビーム溶接の特徴

  • 電力密度は、108~109W/cm2にも達し、アークに比べて数桁大きい。
  • 溶融幅が狭く、熱影響部も狭い。
  • 小入熱溶接なので溶接変形が少なく精密な溶接が可能です。
  • 難溶接材、Al、Cu、高融点金属にも適用可能。
  • 異材金属の溶接が可能。
  • 電子のみを使用しているため制御が容易で、再現性に優れている。
  • 真空中で溶接する為、非常にクリーンな状態を保つことができます。

保有装置

  • 定格出力:6kW
  • 加速電圧:60kV
  • 溶接姿勢:下向き、横向き
  • 加工室:1,700W×1,700D×900H
  • 有効溶接エリア:600W×600D×400H
  • ワーク重量:300Kg
  • XYテーブル NC搭載
保有装置

溶接部断面

溶接部断面A5052 溶接速度 2.0m/min
溶接部断面A5052 溶接速度 2.5m/min
溶接部断面A5052+A5052

溶接部断面純チタン+純チタン
溶接部断面C1020+C1020
溶接部断面C1020+C1020(断面)

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