材質 薄膜： ベリリウム(Be),チタン(Ti)等ボディ： ステンレス鋼(SUS304, SUS316L等),コバール合金等
特徴 
従来の有機シール材(Oリング，接着剤)を一切使用しないので、耐熱性が高く、極低温に対する特性も良好です．
(使用温度：−270℃〜450℃，最高使用温度；約600℃)
耐熱性が高いので装置の高温ベーキングが可能です。ろう付と同時に脱ガス処理を行っているので、高真空用途でアウトガスがありません。また真空フランジに簡単に取り付けできます。
 Be /SUS304ウィンド |
 20μmBe /SUS304ウィンド |
 20μmTi /SUS304ウィンド |
製品応用例 (Be窓付き水冷ゲート弁、特許出願中)
 弁体部(Be窓) |
 バルブ全体 |
主な仕様
| Ｂｅ窓有効寸法 |
： | 高さ15ｍｍ×幅100ｍｍ×厚さ0.4ｍｍ（センター部） |
| 高さ18ｍｍ×幅 50ｍｍ×厚さ0.4ｍｍ（上部） | ||
| 両端フランジ |
： | ＩＣＦ２０３ |
| 開口径 |
： | φ１４０ ｍｍ |
| フランジ面間距離 |
： | ３６０ ｍｍ |
| シート部材質 |
： | ＳＵＳ３０４ （Ｏリング カルレッツ） |
| シール性能 |
： | ボディ 1.3 × 10−11 Pa・m3/s以下（Heリーク検査） |
| シート 1.3 × 10−10 Pa・m3/s以下（Heリーク検査） |
納入実績 （財）高輝度光科学研究センター 加速器部門 殿
ナイス株式会社 真空部門
TEL：06-6488-7705
FAX：06-6488-9634
E-mail：shinku@neis-co.com