真空実験装置の設計製作
薄膜実験装置
超高真空チャンバー
極高真空対応 ステンレスチャンバー
10E-8Pa
水冷Be窓付きゲートバルブ設計製作
スプリング8内ー(財)物質・材料研究機構
クライオシリンダー受託製作
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